Микросистемная техника

Нанотехнологии в электронике. Введение в специальность. Учебное пособие для вузов

Графен и другие двумерные материалы. Свойства и методы получения

Компоненты микросистемной техники. Введение в моделирование на ANSYS

Наноэлектроника, нанофотоника и микросистемная техника

Компоненты микросистемной техники. Основы конечно-элементного анализа радиочастотных микроэлектромеханических систем

Микросистемные датчики физических величин: монография в двух частях

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники