Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем
Text PDF

Volume 132 pages

2022 year

0+

Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем

Учебное пособие
Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$2.29

About the book

Рассмотрена совокупность вопросов, связанных с созданием многоуровневых систем металлизации интегральных микросхем по технологическим маршрутам, обобщенно называемым Back-End-Of-Lme (BEOL). Охарактеризованы проблемы и решения создания проводящих и металлических тонких пленок, пленок диэлектрических материалов, проблемы и решения по планаризации поверхности интегральных микросхем. Рассмотрены вопросы получения конформных тонкопленочных покрытий на усложняющихся рельефах интегральных микросхем.

Может быть рекомендовано для обучения бакалавров и магистрантов по направлениям 11.03.04 и 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника», 28.03.01 и 28.04.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в рамках семинаров по специальностям и дисциплинам, связанным с преподаванием физико-химических основ технологических процессов изделий микроэлектроники, микросистемной техники, наноэлектроники, а также для магистрантов и аспирантов по специальности 11.06.01 «Электроника, радиотехника и системы связи», технологов производства ИМС, исследователей в области нанотехнологий.

Log in, to rate the book and leave a review
Book В. Ю. Васильева «Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхем» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
06 December 2022
Writing date:
2022
Volume:
132 p.
ISBN:
978-5-7782-4726-0
Total size:
17 МБ
Total number of pages:
132
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,8 на основе 1898 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 4166 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,1 на основе 18 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 1333 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,8 на основе 272 оценок
Text
Средний рейтинг 4,8 на основе 4 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 2341 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 2389 оценок