Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Text PDF
Volume 280 pages
2012 year
Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Not for sale
About the book
Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.
Log in, to rate the book and leave a review
Book В. И. Шевякова, А. И. Мочалова et al. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
31 July 2014Writing date:
2012Volume:
280 p. ISBN:
978-5-9963-2569-6Total size:
7.4 МБTotal number of pages:
280Copyright holder:
Лаборатория знаний