Read only on Litres

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Text PDF

Volume 280 pages

2012 year

0+

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Read only on Litres

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Not for sale

About the book

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Audio
Средний рейтинг 4,1 на основе 1078 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,7 на основе 382 оценок
Text
Средний рейтинг 4,9 на основе 1508 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5292 оценок
Text PDF
Средний рейтинг 4,6 на основе 41 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 1905 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,1 на основе 76 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 7210 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,5 на основе 199 оценок
Log in, to rate the book and leave a review
Book В. И. Шевякова, А. И. Мочалова et al. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
31 July 2014
Writing date:
2012
Volume:
280 p.
ISBN:
978-5-9963-2569-6
Total size:
7.4 МБ
Total number of pages:
280