Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие
Text PDF

Volume 280 pages

2012 year

0+

Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Not for sale

About the book

Приводится классификация элементов многоуровневой системы металлизации интегральных схем, рассматриваются особенности создания выпрямляющих и омических контактов в составе ИС. Освещаются вопросы взаимодействия тонких слоев металлов с кремниевой подложкой и образования силицидов. Рассматриваются различные варианты формирования медных межсоединений и приводятся сведения о современных технологиях создания многоуровневых систем металлизации УБИС с медными межсоединениями.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано специалистами, работающими в данной области.

Log in, to rate the book and leave a review
Book В. И. Шевякова, А. И. Мочалова et al. «Металлизация ультрабольших интегральных схем. Учебное пособие» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
31 July 2014
Writing date:
2012
Volume:
280 p.
ISBN:
978-5-9963-2569-6
Total size:
7.4 МБ
Total number of pages:
280
Draft, audio format available
Average rating 4,7 based on 70 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,7 based on 379 ratings
Audio
Average rating 4,2 based on 756 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,8 based on 138 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,8 based on 32 ratings
Text
Average rating 5 based on 86 ratings