Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Text PDF

Book duration 45 pages

2020 year

0+

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$1.77

About the book

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.

Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Log in, to rate the book and leave a review
Book Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
27 June 2023
Writing date:
2020
Volume:
45 p.
ISBN:
978-5-7038-5369-6
Total size:
1.5 МБ
Total number of pages:
45
Copyright holder:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Audio
Средний рейтинг 4,7 на основе 256 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 148 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,5 на основе 99 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,8 на основе 49 оценок
Podcast
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Audio
Средний рейтинг 5 на основе 5 оценок
Text PDF
Средний рейтинг 4,1 на основе 71 оценок