Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Text PDF
Volume 45 pages
2020 year
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
$1.83
About the book
Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.
Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».
Log in, to rate the book and leave a review
Book Ю. С. Бобровой «Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
27 June 2023Writing date:
2020Volume:
45 p. ISBN:
978-5-7038-5369-6Total size:
1.5 МБTotal number of pages:
45Copyright holder:
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
