Read only on Litres

This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум
Text PDF

Volume 45 pages

2020 year

0+

Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум

5,0
1 rating
Read only on Litres

This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.

$1.79

About the book

Рассмотрен процесс фотолитографии. Изложено описание процедур проведения экспериментов по определению разрешающей способности операций фотолитографии и жидкостного травления тонкопленочных медных структур. Представлена методика обработки полученных результатов травления и выявления на их основе бокового подтрава токопроводящих структур и неравномерности тонкопленочного покрытия по площади заготовки.

Для студентов, изучающих дисциплины «Технология и оборудование микро- и наноэлектроники», «Процессы и оборудование микротехнологии».

Log in, to rate the book and leave a review
Контактная фотолитография и травление тонкопленочных структур. Практикум book by Ю. С. Бобровой – read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
27 June 2023
Writing date:
2020
Volume:
45 p.
ISBN:
978-5-7038-5369-6
Total size:
1.5 МБ
Total number of pages:
45
Copyright Holder::
МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)