Отличная книга от реальных специалистов по полупроводниковой технологии. Редчайшая информация. Очень актуальна в узких (пока) кругах специалистов по разработке и производству микро- и наносистем и ИМС (СБИС). Представлена информация не только о технологиях на базе кремния (Si, SiO2, Si3N4), но о сохраняющих актуальность технологиях на базе алмазоподобных углеродных плёнок – технологиях создания наноэлементов и наносистем на основе углерода (С), который в твёрдой фазе может иметь формы как металлического проводника (графит), так и диэлектрического изолятора (алмаз), а также огромное количество промежуточных форм с различными электрофизическими, оптическими, механическими, химическистойкими свойствами в виде алмазоподобных плёнок. Это открывает ещё не освоенные возможности изготавливать наноэлектронику из одного углерода – чередуя его различные формы – проводящие и изолирующие. Про графен – однослойный (двух-пятислойный, в реальном случае) надо писать отдельные книги.
В общем книга однозначно полезная и следует её купить и освоить.
Отзывы 2