Основной контент книги Технологические процессы в микро- и наноэлектронике
Text PDF

Volume 353 pages

2019 year

0+

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике

$10.87

About the book

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях.

Для студентов, обучающихся по специальности «Электроника, радиотехника и системы связи», а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.

See all reviews

Отличная книга от реальных специалистов по полупроводниковой технологии. Редчайшая информация. Очень актуальна в узких (пока) кругах специалистов по разработке и производству микро- и наносистем и ИМС (СБИС). Представлена информация не только о технологиях на базе кремния (Si, SiO2, Si3N4), но о сохраняющих актуальность технологиях на базе алмазоподобных углеродных плёнок – технологиях создания наноэлементов и наносистем на основе углерода (С), который в твёрдой фазе может иметь формы как металлического проводника (графит), так и диэлектрического изолятора (алмаз), а также огромное количество промежуточных форм с различными электрофизическими, оптическими, механическими, химическистойкими свойствами в виде алмазоподобных плёнок. Это открывает ещё не освоенные возможности изготавливать наноэлектронику из одного углерода – чередуя его различные формы – проводящие и изолирующие. Про графен – однослойный (двух-пятислойный, в реальном случае) надо писать отдельные книги.


В общем книга однозначно полезная и следует её купить и освоить.

Наконец приоткрываются процессы, которые позволяют создавать невероятно малые устройства. Все, кто задействован в промышленном производстве ( и не только) эта книга способна принести немало пользы. Общаясь с более умными технологиями (а значит и людьми) мы сами становимся умнее.

Кроме всего этого, затронута сфера, в которой Россия отстает от ведущих стран, а значит эти знания актуальны, необходимы, а возможны и будут реально востребованы нами самими в ближайшем будущем.

Log in, to rate the book and leave a review
Book Ю. А. Родионова «Технологические процессы в микро- и наноэлектронике» — download in pdf or read online. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
27 August 2019
Writing date:
2019
Volume:
353 p.
ISBN:
978-5-9729-0337-5
Total size:
22 МБ
Total number of pages:
353
Download format:
Text PDF
Average rating 0 based on 0 ratings
Text PDF
Average rating 0 based on 0 ratings