Основной контент книги Технологии субмикронных структур микроэлектроники
Text PDF

Volume 273 pages

2018 year

0+

Технологии субмикронных структур микроэлектроники

author
collective work
$8.18

About the book

Рассмотрены и обобщены результаты исследований и разработок в области технологии и оборудования для производства и диагностики субмикронных структур полупроводниковой микроэлектроники.

Предназначена для инженерно-технических работников предприятий электронной и других отраслей промышленности, специалистов научно-исследовательских институтов, аспирантов, магистрантов и студентов старших курсов технических вузов.

See all reviews

Белоруссия и город Минск, вместе с Зеленоградом и Воронежем, являлись регионами бывшего СССР с развитой электронной промышленностью. Например, предприятие Изовак. От разработки и производства интегральных микросхем – ИМС (БИС, СБИС), до производства технологического оборудования для проведения технологических процессов для изготовления микроструктур ИМС. Один из рецензентов этой книги – знаменитый академик НАН Белоруссии В.А. Лабунов – предложил ещё в 1980-е году принятую сейчас повсеместно концепцию кластерного производства ИМС – «бочка Лабунова». При кластерном построении технологического оборудования и технологического маршрута обрабатываемой подложки в нём, организуется замкнутая вакуумная транспортная система, обеспечивающая роботизированное перемещение обрабатываемой подложки ИМС между технологическими и аналитическими модулями в химически чистой вакуумной среде из которой убрана внешняя атмосфера и, самый главный загрязнитель, человек, то есть его пот, дыхание, слёзы – источник натрия (Na) и вредной загрязняющей органики. Кластерное технологическое оборудование разработки и производства белорусского предприятия Изовак продаётся через совместное предприятие на Тайване в КНР, где используется для формирования многослойных прозрачных диэлектрических слоёв на стёклах для смартфонов и айфонов, которыми, в свою очередь, все мы пользуемся. Материал, изложенный в этой книге в высшей степени достоверен и актуален. И ещё долго останется таким достоверным и актуальным. Для всех, кто занимается исследованием, разработкой и развитием производства микроструктур и наноструктур ИМС, эта книга очень полезна.

Log in, to rate the book and leave a review
Book Коллектива авторов «Технологии субмикронных структур микроэлектроники» — download in pdf or read online. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
06 March 2019
Writing date:
2018
Volume:
273 p.
ISBN:
978-985-08-2298-7
Total size:
8.9 МБ
Total number of pages:
273
Copyright holder:
Издательский дом “Белорусская наука”
Download format:
Text PDF
Average rating 5 based on 1 ratings
Text
Average rating 0 based on 0 ratings
Text PDF
Average rating 5 based on 1 ratings
Text
Average rating 0 based on 0 ratings
Text
Average rating 4 based on 1 ratings
Text PDF
Average rating 0 based on 0 ratings
Urology
Collective work
Text PDF
Average rating 1 based on 1 ratings