This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
Volume 397 pages
2020 year
0+
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
About the book
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.