Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Volume 397 pages

2020 year

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

authors

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$3.39

About the book

Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.

Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.

Genres and tags

Books for undergraduate and graduate studentsElectronicsMathematical and computer modelingMicroelectronicsSemiconductorsStudy guidesTechnical literature

Book М. А. Королева, Т. Ю. Крупкиной et al. «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.

Age restriction:

Release date on Litres:

22 January 2014

Writing date:

2020

Volume:

397 p.

ISBN:

978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1

Total size:

3.5 МБ

Total number of pages: