Основной контент книги Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
Text PDF
Book duration 397 pages
2020 year
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
$3.54
About the book
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Log in, to rate the book and leave a review
Book М. А. Королева, Т. Ю. Крупкиной et al. «Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
22 January 2014Writing date:
2020Volume:
397 p. ISBN:
978-5-00101-814-8, 978-5-00101-813-1Total size:
3.5 МБTotal number of pages:
397Copyright holder:
Лаборатория знаний
