Основной контент книги Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
Text PDF
Volume 55 pages
2005 year
Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом
author
Геннадий Кузнецов
$2.93
About the book
В данном пособии приводятся расчеты взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом. Обсуждаются закономерности упругих и неупругих потерь энергии ионом при взаимодействии с атомами и электронами твердо› го тела материалов электронной техники. Рассматриваются типовые источ› ники ионов, применяемые в технологии электронной техники. Анализируют› ся области проявления таких эффектов взаимодействия, как распыление, дефектообразование и внедрение ионов.
Genres and tags
Log in, to rate the book and leave a review
Book Геннадия Кузнецова «Расчеты параметров взаимодействия ускоренных ионов с твердым телом» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
28 March 2018Writing date:
2005Volume:
55 p. Total size:
1.5 МБTotal number of pages:
55Copyright holder:
МИСиС