Read only on LitRes

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

Volume 51 page

2006 year

Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра

authors

Read only on LitRes

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$1.31

About the book

Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.

Genres and tags

Construction equipmentElectronic equipmentElectronicsEquipment constructionMicroelectronicsSemiconductorsStudy guide for studentsTechnical literatureTextbooks and teaching materials for universities

Book Н. В. Макушиной «Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.

Age restriction:

Release date on Litres:

16 January 2016

Writing date:

2006

Volume:

51 p.

ISBN:

5-7038-2926-7

Total size:

2.4 МБ

Total number of pages: