Основной контент книги Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
Text PDF
Volume 51 pages
2006 year
Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра
$1.50
About the book
Приведены современные требования к геометрической точности изготовления пластин-подложек интегральных микросхем. Рассмотрены кремниевые подложки диаметром 150 и 200 мм, а также сапфировые подложки диаметром 100 мм. Описаны новые технологические операции, применяемые при производстве полупроводниковых пластин. Для студентов специальности «Проектирование и производство электронной аппаратуры» и «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», изучающих курс «Микроэлектроника». Ил. 17. Табл. 8.
Log in, to rate the book and leave a review
Book Н. В. Макушиной «Современные требования к кремниевым пластинам большого диаметра» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
16 January 2016Writing date:
2006Volume:
51 p. ISBN:
5-7038-2926-7Total size:
2.4 МБTotal number of pages:
51Copyright holder:
МГТУ им. Н.Э. Баумана
