Основной контент книги Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Text PDF
Volume 69 pages
2013 year
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
$1.47
About the book
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Log in, to rate the book and leave a review
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники book by – read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
16 January 2016Writing date:
2013Volume:
69 p. ISBN:
978-5-7038-3729-0Total size:
2.9 МБTotal number of pages:
69Copyright Holder::
МГТУ им. Н.Э. Баумана