Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

Volume 69 pages

2013 year

Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники

authors

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$1.41

About the book

Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».

Genres and tags

Construction equipmentElectronicsEquipment constructionMicroelectronicsMicromechanicsNanotechnologyStudy guide for studentsTextbooks and teaching materials for universities

Book «Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.

Age restriction:

Release date on Litres:

16 January 2016

Writing date:

2013

Volume:

69 p.

ISBN:

978-5-7038-3729-0

Total size:

2.9 МБ

Total number of pages: