Основной контент книги Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Text PDF
Volume 157 pages
2008 year
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
$7.52
About the book
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
Genres and tags
Log in, to rate the book and leave a review
Book Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
28 March 2018Writing date:
2008Volume:
157 p. Total size:
9.7 МБTotal number of pages:
157Copyright holder:
МИСиС
