This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
Volume 83 pages
2015 year
0+
Молекулярно-пучковая и мос-гидридная технологии. Методы формирования наноструктурированных гетерокомпозиций
This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
About the book
В результате анализа условий проявления квантово-размерных эффектов, возникающих в многослойных тонкопленочных структурах, уточнены требования к технологическим процессам формирования наноструктурированных гетерокомпозиций. Анализируются как базовые традиционные методы формирования с применением нанолитографии – молекулярно-лучевая эпитаксия и газофазная эпитаксия из металлоорганических соединений, так и специфические – зондовая нанотехнология и самоорганизация упорядоченных наноструктур на полупроводниковых подложках. В качестве практического применения наноструктурированных гетерокомпозиций рассмотрены конструкция и принцип работы полевого транзистора с высокой подвижностью носителей и одноэлектронный транзистор.