Основной контент книги Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
Text PDF
Volume 130 pages
2012 year
Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы
$5.75
About the book
В учебном пособии рассматриваются в основном практические результаты по изменению параметров приповерхностных слоев материалов электронной техники ионным внедрением примесей. Приводятся результаты по особенностям распределения внедренной примеси в аморфных и кристаллических материалах и их теоретическое обоснование. Анализируются результаты по легированию приповерхностных слоев с использованием так называемых атомов отдачи при ионном внедрении.
Genres and tags
Log in, to rate the book and leave a review
Book Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Элионная теория в микро- и наноиндустрии. Ускоренные ионы» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
29 March 2018Writing date:
2012Volume:
130 p. Total size:
3.2 МБTotal number of pages:
130Copyright holder:
МИСиС