Основной контент книги Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Text PDF
Volume 18 pages
2007 year
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
$1.51
About the book
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Genres and tags
Log in, to rate the book and leave a review
Book Владимира Астахова, Андрея Полисана «Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
27 March 2018Writing date:
2007Volume:
18 p. Total size:
256 КБTotal number of pages:
18Copyright holder:
МИСиС
