Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
PDFMark as finished
- Size: 18 pp.
- Genre: Material science, WorkshopsEdit
Book description
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Detailed info
- Age restriction:
- 0+
- Date added to LitRes:
- 27 March 2018
- Date written:
- 2007
- Size:
- 18 pp.
- Total size:
- 0 MB
- Total number of pages:
- 18
- Page size:
149 x 210 мм
- Copyright:
- МИСиС
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев — read a free preview online. Leave comments and reviews, vote for your favorite.
Оставьте отзыв
Отзывы