Основной контент книги Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Text PDF
Volume 142 pages
2007 year
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
$6.55
About the book
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Genres and tags
Log in, to rate the book and leave a review
Book Аскера Кушхова, Геннадия Кузнецова et al. «Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+Release date on Litres:
29 March 2018Writing date:
2007Volume:
142 p. Total size:
18 МБTotal number of pages:
142Copyright holder:
МИСиС
