Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Text PDF

Volume 123 pages

2012 year

0+

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$6.16

About the book

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.

Genres and tags

Log in, to rate the book and leave a review
Book Геннадия Кузнецова, Сергея Курочки et al. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
29 March 2018
Writing date:
2012
Volume:
123 p.
Total size:
24 МБ
Total number of pages:
123
Copyright holder:
МИСиС
Draft
Средний рейтинг 4,9 на основе 151 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,2 на основе 993 оценок
Text
Средний рейтинг 5 на основе 267 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,6 на основе 1046 оценок
Text
Средний рейтинг 4,9 на основе 178 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,7 на основе 1792 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 3,9 на основе 10 оценок
Audio
Средний рейтинг 4,8 на основе 5196 оценок
Text, audio format available
Средний рейтинг 4,9 на основе 151 оценок