Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Text PDF

Book duration 123 pages

2012 year

0+

Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

$5.91

About the book

В учебном пособии рассматриваются неразрушающие методы контроля технологических процессов нанесения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций при использовании ионно-плазменного воздействия на материалы. Анализируются как традиционные способы контроля процессов ионно-плазменной обработки материалов электронной техники, так и специфические, связанные с применением возникающих факторов при взаимодействии ускоренных ионов с твердым телом. Особое внимание уделено использованию возникающего ионно-индуцированного тока в многослойных наноразмерных гетероструктурах и вторичной ионно-электронной эмиссии при ионном воздействии на материалы.

Genres and tags

Log in, to rate the book and leave a review
Book Геннадия Кузнецова, Сергея Курочки et al. «Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
0+
Release date on Litres:
29 March 2018
Writing date:
2012
Volume:
123 p.
Total size:
24 МБ
Total number of pages:
123
Copyright holder:
МИСиС
Text, audio format available
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Text
Средний рейтинг 5 на основе 3 оценок
Audio
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Text
Средний рейтинг 5 на основе 4 оценок
Podcast
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Text
Средний рейтинг 5 на основе 2 оценок
Podcast
Средний рейтинг 0 на основе 0 оценок
Podcast
Средний рейтинг 5 на основе 1 оценок