This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
Volume 460 pages
2016 year
0+
Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Интегральные схемы. Учебник для бакалавриата и магистратуры
This book cannot be downloaded as a file but can be read in our app or online on the website.
About the book
Книга посвящена рассмотрению широкого круга физических принципов, определяющих технологические процессы изготовления интегральных схем радиоэлектронной аппаратуры – технологии получения кремниевых пластин, их оксидирования, диффузии, ионного легирования, литографии, сухого травления, сборки и герметизации готовых микроприборов. Также рассмотрены процессы формирования тонких пленок различными технологическими методами. Приведены основные схемы технологического оборудования и оснастки. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств», «Конструирование и технология радиоэлектронных стредств» и «Микроэлектроника», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
