Механизмы прецизионных перемещений
PDFУчебное пособие
Mark as finished
- Size: 211 pp.
- Genre: Technical literature, Textbooks and teaching materials for universities, Physics
Book description
Приведены методы анализа, выбора и расчета прецизионных механизмов микро- и наноперемещений с учетом их функционального назначения и заданных параметров движения исполнительных механизмов оборудования для микро- и нанотехнологий. Рассмотрены методы вибрационной защиты прецизионного оборудования, принципы разработки динамических моделей и алгоритм процесса управления прецизионными механизмами перемещений для обеспечения требуемых параметров. Определены основные параметры механизмов прецизионных перемещений.
Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» 28.03.02 «Наноинженерия».
Detailed info
- Age restriction:
- 0+
- Date added to LitRes:
- 27 June 2023
- Date written:
- 2021
- Size:
- 211 pp.
- ISBN:
- 978-5-7038-5529-4
- Total size:
- 9 MB
- Total number of pages:
- 211
- Page size:
165 x 235 мм
- Copyright:
- МГТУ им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Механизмы прецизионных перемещений — read a free preview online. Leave comments and reviews, vote for your favorite.
Оставьте отзыв
Отзывы