Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Основной контент книги Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие
Text PDF

Volume 285 pages

2013 year

12+

Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие

Читайте только на Литрес

The book cannot be downloaded as a file, but can be read in our app or online on the website.

Not for sale

About the book

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.

Для студентов вузов, изучающих процессы микро– и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Log in, to rate the book and leave a review
Book А. И. Мочалова, Е. В. Данилкина et al. «Процессы плазменного травления в микро– и нанотехнологиях. Учебное пособие» — read online on the website. Leave comments and reviews, vote for your favorites.
Age restriction:
12+
Release date on Litres:
31 July 2014
Writing date:
2013
Volume:
285 p.
ISBN:
978-5-9963-2129-2
Total size:
5.2 МБ
Total number of pages:
285
Text
Average rating 4 based on 80 ratings
Audio
Average rating 4,2 based on 771 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,7 based on 415 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,9 based on 173 ratings
Draft, audio format available
Average rating 4,7 based on 103 ratings
Text, audio format available
Average rating 4,4 based on 66 ratings